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公司:绍兴绍力机电科技有限公司
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D2M8MK5A-1台式平面精密数控研磨机床

产品简介

D2M8MK5A-1超精密镜面研磨台式数控机床采用变位自转平面研磨原理,可满足仪器、仪表、航空、航天、集成电路的等微小型零件(如光学元件、半导体元件及金属元件)平面研磨加工的需求,实现纳米级粗糙度的研磨加工。
技术参数 产品特点 产品优势

D2M8MK5A-1超精密平面数控研磨机

工作台

外形尺寸(长×宽)

mm

200×200

最大承载

Kg

10

行程及范围

X行程

mm

200

Y行程

mm

150

Z行程

mm

100

研磨盘

研磨盘最大转速

r/min

60


进给

最快进给速度(X/Y/Z

r/min

10

快速移动速度(X/Y/Z)

r/min

10

检测与精度

定位精度

μm

5

重复定位精度

μm

±1

表面粗糙度

Ra均值6nm

其他

电源

AC220V/50Hz

研磨液系统

配有研磨液系统

电子手轮

配有电子手轮

数控系统

标配开放式数控系统

机床尺寸(长×宽×高)

mm

500×660×850

机床重量(净重)

Kg

600

加工均匀度高

(1)工件表面各点与研磨盘之间的研磨相对运动轨迹均具有良好的时变性。

(2)增加靠近工件回转中心各点的研磨相对运动,降低了研磨轨迹重复率。

(3)提高了工件表面各处材料去除的均匀程度。

(4)提高研磨相对运动时变性,使研磨运动速度分布更均匀,有利于改善行星式研磨方法中研磨速度沿径向分布不均的状况。

纳米级粗糙度

工件表面微观粗糙度已达纳米级,变位自转研磨结果(Ra均值6nm),呈现镜面效果,且工件中心附近的粗糙度及表面形貌与工件边缘几乎没有差别,整个表面的加工质量非常均匀。

采用激光共聚焦显微镜对样件研磨效果进行表面形貌及粗糙度的观察及检测,工件表面微观粗糙度达到纳米级,变位自转研磨结果(Ra均值6nm)呈现镜面效果。

研磨前样件

研磨件表面

工件研磨前表面情况

工件研磨后表面情况

1号点在激光显微镜下放大2000倍的表面形貌

2号点在激光显微镜下放大2000倍的表面形貌